微机电系统论文

微机械加速度计测试与应用研究

一、微机械加速度计的测试与应用研究（论文文献综述）姚俊杰[1]（2021）在《微光机电加速度计关键技术研究》文中提出加速度计作为重要的惯性元件之一,广泛应用于工业生产、科学研究...